ルーツ真空ポンプ

ルーツ真空ポンプ（メカニカル真空ブースタとも呼ばれます）は、中高真空を得るための主な排気装置であり、容積形真空ポンプとオイルフリードライ真空ポンプです。

ルーツ真空ポンプの特徴

ワンピースダブルインペラ、インペラとシャフトは一体で鋳造されています。ローターには内部にストレートキャビティがあり、オプションのシーリングプレート設計も付いています。

• 特殊なシール構造により、シールと接触するシャフトの表面は研磨され、寿命が向上し、漏れゼロを実現し、オイルとプロセスガスの相互汚染を排除します。
・同期歯車はヘリカルギヤ設計で、駆動端に取り付けることで羽根車の歪みや変形を軽減し、静音性、安定性、信頼性を向上させます。
• ダブルオイルタンク設計により、十分な潤滑を実現し、安定性を向上させます。オプションの冷却方法：空冷、水冷。
• 5 点ベアリング/マシンシール設計、複数のサポートとシールにより高い信頼性を実現。
• 窒素ガスバリアがオイルタンクへのガスの侵入を遮断し、耐用年数を延ばします。
• 内部コーティングによる腐食保護。特に凝縮性ガス、可燃性ガス、爆発性ガス、有毒ガスの排出に適しています。
• 最大 120 mbar の大差圧。
• 流体接触部のオプションのニッケルメッキまたは PFA/PTFE コーティング。
• メカニカルシールの O リング、オプションのアルフルオロゴムまたはパーフルオロエーテルゴム。
• 高排気速度設計、最大入口流量 110,000m3/h。
• オプションの外側シールはメカニカル シール、内側シールはオイル スリンガー リング シールです。オプションで 5 つのメカニカル シールとラビリンス シールも選択できます。