両方真空ポンプとコンプレッサーガスを処理するためのデバイスですが、その作業原則と適用範囲は異なります。
真空ポンプの主な機能は、反応チャンバーからガスを除去して、容器内の圧力を下げて、所定の真空度を達成することです。ガスは、吸引および排気メカニズムを介して空間から抽出され、真空状態を形成します。真空ポンプは通常、研究所、生産、製造分野で使用されます。ウェーハファブ、エッチング機器、堆積機器、EUVリソグラフィ装置、イオン移植装置、検出および特性装置など。すべて掃除機をかける必要があります。
コンプレッサーの機能は、ガスを吸い込んで圧縮し、ガスの圧力を上げ、ガスをより小さな容積に圧縮し、ガスの密度と圧力を上げることです。その動作の原則は、排気バルブを介してガスを圧縮し、圧縮ガスをガソリンタンクまたは他の機器に入れることです。コンプレッサーは通常、処理および製造分野で使用されます。よく話すCDAガスは、コンプレッサーによって提供されます。 CDAは、さまざまな自動化機器とバルブを制御するために使用されます。半導体製造の場合、CDAは非常に純粋で乾燥している必要があります。コンプレッサーによる空気出力は、洗練されたろ過システムを通過して、油、水分、その他の粒子を除去して、ウェーハの汚染がないことを確認する必要があります。
のカテゴリは何ですか真空ポンプとコンプレッサー?
半導体機器では、一般的にドライポンプと分子ポンプが使用されています。ドライポンプとは、液体がシーリングまたは冷却媒体として使用されない真空ポンプを指し、オイル蒸気汚染の問題を回避します。通常、半導体機器の大まかな真空抽出に使用されます。分子ポンプは、非常に高い真空レベルを達成できます。ドライポンプと分子ポンプは、さまざまな真空レベルのニーズを満たすために、半導体機器と組み合わせてよく使用されます。
コンプレッサーは、ピストン、ネジ、遠心性、ロータリーベーンエアコンプレッサーなどに分けることができます。
さまざまな設計と真空ポンプとコンプレッサーの動作原理により、真空ポンプは通常、コンプレッサーを置き換えることはできません。真空ポンプはガスの圧力と密度を低下させる可能性がありますが、ガスをより少ない量とより高い圧力に圧縮することはできません。さらに、真空ポンプの性能と作業特性が限られているため、低密度ガスと低圧環境の処理に最適です。
したがって、ガスをより小さな体積とより高い圧力に圧縮する必要がある場合は、コンプレッサーを使用する必要があります。それどころか、ガスを抽出する必要があり、真空状態が形成される場合は、真空ポンプを使用する必要があります。
両方とも真空ポンプとコンプレッサーガスの処理に使用されるデバイスであり、設計と作業の原則には大きな違いがあります。真空ポンプはガスの圧力と密度を低下させる可能性がありますが、特にガスをより小さな体積とより高い圧力に圧縮する必要がある場合、コンプレッサーを置き換えることはできません。
